Формирование диэлектрических защитных покрытий на гибких полимерных подложках

Рассмотрена методика реактивного ионно-лучевого распыления для формирования защитных покрытий из диоксида кремния. Приведены результаты спектра пропускания для покрытий с толщиной 100 нм и 200 нм.

Автор: Ковалева А.П.
Организация: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь


9-я Международная молодёжная научно-техническая конференция «Современные проблемы радиотехники и телекоммуникаций РТ-2013»
22-26 апреля 2013