Приведены результаты исследований электрофизических характеристик тонких пленок иттрий стабилизированного оксида циркония (YSZ), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления. Получены зависимости ионной проводимости пленок YSZ от температуры.

Авторы: Мартусевич А.А., Евстафьева М.В, Рубан Г.М., Маркова М.В.
Организация: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь