Метод ускоренного определения давления, оптимального для вакуумной СВЧ плазменной обработки материалов

Разработан метод ускоренного определения давления плазмообразующей среды, обеспечивающего наиболее благоприятные условия для возбуждения плазмы и проведения процесса плазменной обработки. Приводится описание методики определения искомой величины давления в разрядной камере плазмотрона и аппаратной части ее реализации.

Автор: Темрук Е.В.
Организация: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь


9-я Международная молодёжная научно-техническая конференция «Современные проблемы радиотехники и телекоммуникаций РТ-2013»
22-26 апреля 2013