Установлены зависимости оптического пропускания, показателя преломления и электропроводности тонких пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени, от параметров процесса нанесения.

Авторы: Евстафьева М.В, Мартусевич А.А., Рубан Г.М., Маркова М.В.
Организация: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь